AFMスクラッチによる加工特性評価ー第10報：アルミナ，SiC触針による加工の比較検討ー
AFMスクラッチによる加工特性評価ー第10報：アルミナ，SiC触針による加工の比較検討ー
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使用AFM划痕评估加工特性 - 第10次报告：使用氧化铝和SiC触针加工的比较研究 -
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
礒野泰地，松井伸介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神 雅彦;坂本 慈瑛;金井 秀生;佛生光，佐藤昌彦;礒野泰地，松井伸介
