Effects of plasma etching on DLC films
Effects of plasma etching on DLC films
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等离子体蚀刻对 DLC 薄膜的影响
DOI：
10.1016/s0040-6090(98)01691-5
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
L.N.B.M. Nishioka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Massi;R. Mansano;H. Maciel;C. Otani;P. Verdonck;L.N.B.M. Nishioka
