Aging pf thermal bimorph actuators MEMS

Aging pf thermal bimorph actuators MEMS
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热双压电晶片执行器 MEMS 的老化

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
Proceeding of ICCES'09 (CD-ROM)
影响因子：
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通讯作者：
O. Sbaizero
O. Sbaizero
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S. Maggiolino;M. C. Munisso;G. Pezzotti;O. Sbaizero

文献摘要

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