コスパッタによるモリブデン添加ホウ化物堆積と窒素還元反応
コスパッタによるモリブデン添加ホウ化物堆積と窒素還元反応
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共溅射加钼硼化物沉积和氮还原反应
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田 健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
梨本 一樹;堀口 佳子;熊谷 明哉;岡田 健
