薄膜形状記憶ポリマーを用いた梁型MEMSアクチュエータの動作特性
薄膜形状記憶ポリマーを用いた梁型MEMSアクチュエータの動作特性
复制标题
使用薄膜形状记忆聚合物的梁式MEMS执行器的工作特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
今井郷充
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
今井郷充
