Influence of electrode material on ferroelectric hysteresis loop of a PZT film deposited by sputtering.

Influence of electrode material on ferroelectric hysteresis loop of a PZT film deposited by sputtering.
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电极材料对溅射沉积 PZT 薄膜铁电磁滞回线的影响。

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proc.The 7th International Symp.on Sputtering and Plasma Processes Vol.AP P-4
影响因子：
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通讯作者：
M.Syoga
M.Syoga
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
S.Horita;H.Kasagawa;M.Syoga

文献摘要

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