Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules - Novel Plasma Technologies toward Meters-Scale FPD Processing -
Standing-Wave-Free Large-Area Inductively Coupled Plasmas with Multiple Low-Inductance Antenna Modules - Novel Plasma Technologies toward Meters-Scale FPD Processing -
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具有多个低电感天线模块的无驻波大面积电感耦合等离子体 - 面向米级 FPD 处理的新型等离子体技术 -
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Izawa;Y.Setsuahra;M.Fujita;Y.Izawa;Y.Setsuhara;Y.Setsuhara;Y.Setsuhara
