Osami Sakata: "X-ray evaluation of microroughness of mechanochemically polished silicon surfaces" Jpn.J.Applied Physics. 32. L616-L619 (1993)
Osami Sakata: "X-ray evaluation of microroughness of mechanochemically polished silicon surfaces" Jpn.J.Applied Physics. 32. L616-L619 (1993)
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Osami Sakata：“机械化学抛光硅表面微观粗糙度的 X 射线评估”Jpn.J.应用物理学。
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