Low temperature buffer growth for modulation doped SiGe/Ge/SiGe heterostructures with high hole mobility

Low temperature buffer growth for modulation doped SiGe/Ge/SiGe heterostructures with high hole mobility
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具有高空穴迁移率的调制掺杂 SiGe/Ge/SiGe 异质结构的低温缓冲生长

DOI:
10.1016/s0040-6090(00)00872-5
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发表时间:
2000
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
S. Tanigawa
S. Tanigawa
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
T. Ueno;T. Irisawa;Y. Shiraki;A. Uedono;S. Tanigawa

文献摘要

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