亀川 宣広: "円環スロットアンテナを用いた大口径マイクロ波プラズマにおけるSiエッチングに及ぼすガス圧力の影響" プラズマ・核融合学会第12回年会 講演予稿集. 12. (1995)
亀川 宣広: "円環スロットアンテナを用いた大口径マイクロ波プラズマにおけるSiエッチングに及ぼすガス圧力の影響" プラズマ・核融合学会第12回年会 講演予稿集. 12. (1995)
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Nobuhiro Kamekawa：“气体压力对使用圆形缝隙天线的大直径微波等离子体中硅蚀刻的影响”日本等离子体与聚变科学学会第12届年会记录12。（1995年）。
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