光加工したアゾベンゼン膜を用いるITO薄膜のウェットエッチング
光加工したアゾベンゼン膜を用いるITO薄膜のウェットエッチング
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使用光处理偶氮苯薄膜湿法蚀刻 ITO 薄膜
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関貴紀,大平泰生,清水英彦,金子双男,川上貴浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高木興二郎;大平泰生;佐々木修己;馬場暁;新保一成;加藤景三;金子双男;宮本克彦;金木祥隆,大平泰生,新保一成,馬場暁,加藤景三,金子双男;S.Ohno;関貴紀,大平泰生,清水英彦,金子双男,川上貴浩
