スパッタリング法により石英墓板上に作製したCr-N薄膜の特性評価(II)
スパッタリング法により石英墓板上に作製したCr-N薄膜の特性評価(II)
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溅射法在石英墓板上制备Cr-N薄膜的特性评价（二）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石田武和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤和郎;覧芳治;宇野真由美;櫻井芳昭;四谷任;石田武和
