ALD 技術を取り入れた全反射鏡の開発およびX線反射率測定による性能評価
ALD 技術を取り入れた全反射鏡の開発およびX線反射率測定による性能評価
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开发采用 ALD 技术的全反射镜并使用 X 射线反射率测量进行性能评估
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
沼澤正樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武尾舞;中庭望;江副祐一郎;石川久美;伊師大貴;石田學;前田良知;沼澤正樹
