M.Sato,D.Kimura.: "Suppression of Damage in Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching"" Electrochemical Society,. (1991)
M.Sato,D.Kimura.: "Suppression of Damage in Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching"" Electrochemical Society,. (1991)
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M.Sato,D.Kimura.：“磁控管增强反应离子蚀刻中损伤的抑制””电化学协会，. (1991)
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