中島,田中,山下: "A theoretical study of aluminium chemical vapour deposition using dimethylaluminium hydride"Surface Science. 444. 99-112 (2000)
中島,田中,山下: "A theoretical study of aluminium chemical vapour deposition using dimethylaluminium hydride"Surface Science. 444. 99-112 (2000)
复制标题
Nakajima、Tanaka、Yamashita:“使用二甲基氢化铝进行铝化学气相沉积的理论研究”表面科学 444. 99-112 (2000)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: