足立元明、奥山喜久夫: "新版 シリコンウェーハ表面の超クリーン化技術"服部毅編 リアライズ社. 526 (2000)
足立元明、奥山喜久夫: "新版 シリコンウェーハ表面の超クリーン化技術"服部毅編 リアライズ社. 526 (2000)
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Motoaki Adachi、Kikuo Okuyama：“新版：硅晶圆表面的超洁净技术”，服部刚编辑，Realize Inc. 526 (2000)
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