高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计

高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计
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DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
微纳电子技术
影响因子:
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通讯作者:
杨富华
杨富华
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
韩国威;宁瑾;赵永梅;杨富华

文献摘要

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