(ZnO)x(InN)1-x膜のスパッタエピタキシーにおける基板温度の影響

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衬底温度对(ZnO)x(InN)1-x薄膜溅射外延的影响

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
板垣奈穂
板垣奈穂
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
金島健太郎;宮原奈乃華;山下大輔;鎌滝晋礼;古閑一憲;白谷正治;板垣奈穂

文献摘要

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