宇佐美、菅原、住村、松村: "Liquid-Phase Deposition of Low k Organic Silica" Material Res.Soc.Symp.Proc.511. 27-32 (1998)
宇佐美、菅原、住村、松村: "Liquid-Phase Deposition of Low k Organic Silica" Material Res.Soc.Symp.Proc.511. 27-32 (1998)
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Usami、Sugara、Sumimura、Matsumura:“低 k 有机二氧化硅的液相沉积”材料 Res.Soc.Symp.Proc.511 (1998)。
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