Influence of Linear Velocity Ratio on Removal Rate in Sapphire- Chemical Mechanical Polishing
Influence of Linear Velocity Ratio on Removal Rate in Sapphire- Chemical Mechanical Polishing
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蓝宝石化学机械抛光线速度比对去除率的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Michio Uneda;Keiichi Takano;Koji Koyama;Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
