界面窒化処理を施したSiC MOSデバイスのキャリア捕獲挙動評価

界面窒化処理を施したSiC MOSデバイスのキャリア捕獲挙動評価
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界面氮化处理SiC MOS器件的载流子捕获行为评估

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
渡部 平司
渡部 平司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
勝 義仁;チャンタパン アタウット;細井 卓治;南園 悠一郎;木本 恒暢;志村 考功;渡部 平司

文献摘要

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