外部磁場を印加した誘導結合プラズマ電子源の性能評価
外部磁場を印加した誘導結合プラズマ電子源の性能評価
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施加外磁场的电感耦合等离子体电子源的性能评估
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹ヶ原春貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
青柳潤一郎;太田知里;鳥井夏実;笠上聡志;渡邊裕樹;竹ヶ原春貴
