2次元層状MoS2トランジスタ形成プロセスの検討

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二维层状MoS2晶体管形成工艺研究

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兼村瑠威,森貴洋,渡辺英一郎,津谷大樹,森山悟士,前田辰郎,内田紀行,宮田典幸,安田哲二,田中正俊,安藤淳
兼村瑠威,森貴洋,渡辺英一郎,津谷大樹,森山悟士,前田辰郎,内田紀行,宮田典幸,安田哲二,田中正俊,安藤淳
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
D. Ogawa;M. Tanaka;S. Ohno and T. Suzuki;小川大輔,大河原悟,田中正俊,大野真也,鈴木隆則;小川大輔,大河原悟,田中正俊,大野真也,鈴木隆則;兼村瑠威,森貴洋,渡辺英一郎,津谷大樹,森山悟士,前田辰郎,内田紀行,宮田典幸,安田哲二,田中正俊,安藤淳

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