Parametric Study on Shape Dependence of Inductively Coupled Plasma Cathode for Performance Improvement
Parametric Study on Shape Dependence of Inductively Coupled Plasma Cathode for Performance Improvement
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电感耦合等离子体阴极形状依赖性的参数研究以提高性能
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Junichiro AOYAGI and Haruki TAKEGAHARA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takuya NAKABAYASHI;Hiroki WATANABE;Satoshi KASAGAMI;Junichiro AOYAGI and Haruki TAKEGAHARA
