Generation of periodic surface corrugations.
Generation of periodic surface corrugations.
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DOI：
10.1364/ao.17.001165
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发表时间：
1978-04
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
L. Johnson;G. Kammlott;K. Ingersoll
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L. Johnson;G. Kammlott;K. Ingersoll
分析了光刻胶光栅浮雕图形的离子束铣切和化学刻蚀产生周期性表面波纹的机理。一个一般的治疗是开发任意反射率的基板上的任何所需的周期的光栅，但特别强调的是给深槽和精细周期（λ 0.6已产生的GaAs光栅的产生。
The generation of periodic surface corrugations by ion-beam milling and chemical etching of grating relief patterns in photoresist is analyzed. A general treatment is developed for gratings of any desired period on substrates of arbitrary reflectivity, but particular emphasis is given to the generation of gratings with deep grooves and fine periods (Lambda 0.6 have been produced on GaAs.