T.Fukuzawa: "Study on Growth Processes of Subnanometer Particles in Early Phase of Silane RF Discharges" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4212-4215 (1994)
T.Fukuzawa: "Study on Growth Processes of Subnanometer Particles in Early Phase of Silane RF Discharges" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4212-4215 (1994)
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T.Fukuzawa：“硅烷射频放电早期亚纳米颗粒生长过程的研究”Jpn.J.Appl.Phys.33。
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