微細Cu配線の微細構造と抵抗率に及ぼす硫酸銅純度の影響
微細Cu配線の微細構造と抵抗率に及ぼす硫酸銅純度の影響
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硫酸铜纯度对细铜互连线微观结构和电阻率的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大貫仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田代優;大貫仁
