Silicon Processing for the VLSI Era

Silicon Processing for the VLSI Era
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DOI:
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发表时间:
1986
期刊:
影响因子:
3.7
通讯作者:
S. Wolf;R. Tauber
S. Wolf;R. Tauber
中科院分区:
综合性期刊3区
文献类型:
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作者:
S. Wolf;R. Tauber

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