木下 治久: "Etching Uniformity Improvement under a Stationary Magnetic Field in Supermagnetron Plasma Etching" Proceedings of Symposium on Dry Process. 12. 111-116 (1990)
木下 治久: "Etching Uniformity Improvement under a Stationary Magnetic Field in Supermagnetron Plasma Etching" Proceedings of Symposium on Dry Process. 12. 111-116 (1990)
复制标题
Haruhisa Kinoshita：“超磁控管等离子体蚀刻中固定磁场下的蚀刻均匀性改进”干法研讨会论文集 12. 111-116 (1990)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
