K.Minoshima: "Submicrometer Notch Machining by FIB and Fracture and Fatigue Behavior in Silicon Microelements"Proc.of 3rd International Micro Materials Conference "MicroMat2000". 566-569 (2000)
K.Minoshima: "Submicrometer Notch Machining by FIB and Fracture and Fatigue Behavior in Silicon Microelements"Proc.of 3rd International Micro Materials Conference "MicroMat2000". 566-569 (2000)
复制标题
K.Minoshima:“通过 FIB 进行亚微米缺口加工以及硅微元件中的断裂和疲劳行为”Proc.of 第三届国际微材料会议“MicroMat2000”。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: