Surface modification of fluoropolymer using open-air plasma treatment at atmospheric pressure with Ar, Ar + O2, and Ar + H2 for application in high-adhesion metal wiring patterns
Surface modification of fluoropolymer using open-air plasma treatment at atmospheric pressure with Ar, Ar + O2, and Ar + H2 for application in high-adhesion metal wiring patterns
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在大气压下使用 Ar、Ar O2 和 Ar H2 进行露天等离子体处理对含氟聚合物进行表面改性，用于高粘附力金属布线图案
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Yamamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kodama;Y. Ohkubo;T. Oshita;Y. Nakano;T. Uehara;T. Aoyama;K. Endo;K. Yamamura
