Metal-Insulator-Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane
Metal-Insulator-Metal structured optical force sensors with thin polydimethylsiloxane
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具有薄聚二甲基硅氧烷的金属-绝缘体-金属结构光学力传感器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiaki Kanamori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
MunkhOrgil Dashdeleg;Taiyu Okatani;Yoshiaki Kanamori
