井上 尚三: "高周波反応性スパッタリング法によって作製したAlN薄膜の構造と組成" 日本金属学会誌.
井上 尚三: "高周波反応性スパッタリング法によって作製したAlN薄膜の構造と組成" 日本金属学会誌.
复制标题
Shozo Inoue：“高频反应溅射法制备的AlN薄膜的结构和成分”，日本金属学会学报。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
