木下 治久: "Etching Characteristics of Photoresist in O_2 Supermagnetron Plasma Etching" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 8. 5-8 (1991)
木下 治久: "Etching Characteristics of Photoresist in O_2 Supermagnetron Plasma Etching" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 8. 5-8 (1991)
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Haruhisa Kinoshita：“O_2 超磁控管等离子体蚀刻中光刻胶的蚀刻特性”第八届等离子体处理研讨会论文集。8. 5-8 (1991)。
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