E.Kondoh: "Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide"Proc.2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference. 42-43 (2003)
E.Kondoh: "Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide"Proc.2003 International Microprocess and Nanotechnology Conference. 42-43 (2003)
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E.Kondoh：“使用超临界二氧化碳在深纳米沟槽/孔中进行金属填充”Proc.2003 国际微加工和纳米技术会议。
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