Property of a hollow cathode discharge-produced microplasma extreme ultraviolet source with alkali metal vapor
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碱金属蒸气空心阴极放电微等离子体极紫外光源的特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Gerry O'Sullivan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeshi Higashiguchi;Hiromitsu Terauchi;Noboru Yugami;Toyohiko Yatagai;Padraig Dunne;Gerry O'Sullivan
