Synthesis of Nanoparticle-embedded Composite Films by Plasma-enhanced CVD Process Using Gaseous and Particulate Raw Materials
Synthesis of Nanoparticle-embedded Composite Films by Plasma-enhanced CVD Process Using Gaseous and Particulate Raw Materials
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使用气态和颗粒原料通过等离子体增强 CVD 工艺合成纳米颗粒嵌入复合薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I. Shimada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shimada M.;M. Kubo;Y. Shigematsu;I. Shimada
