液相法と尿素による窒化を用いたTaON薄膜の合成と評価

液相法と尿素による窒化を用いたTaON薄膜の合成と評価
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液相法和尿素氮化TaON薄膜的合成与评价

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
樋口亜門・Nataly Carolina ROSERO-NAVARRO・三浦 章・鱒渕友治・忠永清治
樋口亜門・Nataly Carolina ROSERO-NAVARRO・三浦 章・鱒渕友治・忠永清治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A. Miura;J. Odahara;N.C. Rosero Navarro;M. Nagao;I. Tanaka;K. Tadanaga;樋口亜門・Nataly Carolina ROSERO-NAVARRO・三浦 章・鱒渕友治・忠永清治

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