T. Ito and K. Terashima: "Multiple Microscale Plasma CVD Apparatus on a Substrate"Thin Solid Films. 390. 234-236 (2001)
T. Ito and K. Terashima: "Multiple Microscale Plasma CVD Apparatus on a Substrate"Thin Solid Films. 390. 234-236 (2001)
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T. Ito 和 K. Terashima：“基板上的多个微型等离子体 CVD 装置”固体薄膜。
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