水蒸気雰囲気アニールによるSnO2膜の形成
水蒸気雰囲気アニールによるSnO2膜の形成
复制标题
蒸汽气氛退火形成SnO2薄膜
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
光田好孝
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小田信彦;野瀬健二;神子公男;光田好孝