H.SEKINE, M.OHTA, J.SHIBATA, T.KIMURA: "A BASIC STUDY ON CMP MECHANISM AND A TRIAL FOR CMP"Advances in Abrasive Technology. IV. 271-278 (2001)
H.SEKINE, M.OHTA, J.SHIBATA, T.KIMURA: "A BASIC STUDY ON CMP MECHANISM AND A TRIAL FOR CMP"Advances in Abrasive Technology. IV. 271-278 (2001)
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H.SEKINE、M.OHTA、J.SHIBATA、T.KIMURA：“CMP 机制的基础研究和 CMP 的试验”磨料技术的进展。
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