メタルレジスト配位子の放射線誘起反応過程の解明
メタルレジスト配位子の放射線誘起反応過程の解明
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阐明金属抗蚀剂配体的辐射诱导反应过程
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川名大助
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大塚友惠;室屋裕佐;古澤孝弘;池田卓也;小室嘉崇;川名大助
