Non-contact evaluation of electrical conductivity of thin metallic films by eddy current microscopy

Non-contact evaluation of electrical conductivity of thin metallic films by eddy current microscopy
复制标题

利用涡流显微镜非接触式评估金属薄膜的电导率

DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
Proceedings of the 2008 M&M International Symposium for Young Researchers
影响因子：
--
通讯作者：
M. Saka
M. Saka
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
H. Tohmyoh;M. Muraoka;K. Sakomizu;H. Takeda;M. Saka

文献摘要

相似文献