その場観察装置を用いたSiGe結晶成長におけるファセット的セル成長の観察
その場観察装置を用いたSiGe結晶成長におけるファセット的セル成長の観察
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使用原位观察设备观察 SiGe 晶体生长中的刻面细胞生长
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇田聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
後藤頼良;藤原航三;宇田聡
