MEMSのサイエンス--単結晶シリコンのエッチング特性, 機械特性の新知見(招待講演)
MEMSのサイエンス--単結晶シリコンのエッチング特性, 機械特性の新知見(招待講演)
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MEMS科学--单晶硅的刻蚀特性、机械性能的新发现（特邀报告）
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤一雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamashita;K.(Y.Ohta;T.Nakazawa);佐藤一雄
