高圧狭ギャップVHFプラズマの数値シミュレーション
高圧狭ギャップVHFプラズマの数値シミュレーション
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高压窄间隙VHF等离子体的数值模拟
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
栗林志頭眞
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高比良将;丸尾幸一郎;牟田浩司;西田哲;栗林志頭眞
