Barrier integrity testing of Ta using triangular voltage sweep and a novel CV-BTS test structure
Barrier integrity testing of Ta using triangular voltage sweep and a novel CV-BTS test structure
复制标题
DOI：
10.1016/s0167-9317(02)00797-9
复制
发表时间：
2002-10
影响因子：
2.3
通讯作者：
G. Book;K. Pfeifer;S. Smith
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
G. Book;K. Pfeifer;S. Smith
