シリカ凝集体エレクトッを用いた薄型加速度センサの製作と特性評価
シリカ凝集体エレクトッを用いた薄型加速度センサの製作と特性評価
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二氧化硅骨料ELECT薄型加速度传感器的制作及特性评估
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
櫻田 健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
升田俊樹;古川康一;呉 シンク;神嶌 敏弘;藤波 努;神嶌 敏弘，赤穂 昭太郎，麻生 英樹，佐久間 淳;藤田 尚，藤波 努;櫻田 健
