H.Nakayama et al.: "Catalytic CVD growth of Si-C and Si-C-O alloy films by using alkylsilande and related compounds"Thin Solid Films. (In press). (2003)
H.Nakayama et al.: "Catalytic CVD growth of Si-C and Si-C-O alloy films by using alkylsilande and related compounds"Thin Solid Films. (In press). (2003)
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H.Nakayama 等人：“使用烷基硅烷和相关化合物催化 CVD 生长 Si-C 和 Si-C-O 合金膜”固体薄膜。
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