Arrangement for measuring spatial distributions in an argon induction coupled RF plasma
Arrangement for measuring spatial distributions in an argon induction coupled RF plasma
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用于测量氩感应耦合射频等离子体中的空间分布的装置
DOI：
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发表时间：
1974
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
L. Galan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. R. Kornblum;L. Galan
